產(chǎn)品中心
Cleaner主要產(chǎn)品概要
清潔產(chǎn)品面向高精細(xì)化和高功能化的顯示屏、半導(dǎo)體及電子器件市場以日本化藥獨有的開發(fā)力為武器,目前已擁有優(yōu)越性能的產(chǎn)品陣容,對電子工業(yè)產(chǎn)業(yè)整體的發(fā)展作出貢獻(xiàn)。
當(dāng)前,產(chǎn)品已被顯示領(lǐng)域與半導(dǎo)體領(lǐng)域的廠商所廣泛使用。
液 晶
適用于 LCD 彩色濾光片的顯影液產(chǎn)品系列。 運用獨特的濃縮技術(shù)與表面活性劑最優(yōu)化配比技術(shù),對于細(xì)微的 BM 顯影,也可實現(xiàn)良好的顯影性。
(1)HAC:混合了活性劑的負(fù)膠型顯影液,用于LCD彩色濾光片RGB的光刻膠。通過表面活性劑的效果,可以實現(xiàn)細(xì)線寬的顯影??筛纳骑@影效果偏差。
(2)DX:混合了活性劑的負(fù)膠型顯影液,用于RGB。擁有優(yōu)異的顯影性能,由于是高濃縮型,因此可減少藥劑的使用量。產(chǎn)品屬于有機堿類,因此對金屬的腐蝕性弱,可對應(yīng)COA(Color Filter On Array)型制程。
用于制程返工的剝離液。具有極低的對玻璃刻蝕速率,可對應(yīng)RGB,BM,UV cure/Heat cure OC, PS等各種抗試劑,剝離性能強。
一種有機型清洗液,適合去除輕油及油脂、磨料、薄膜浮垢、廢紙塵埃等各種污漬
。
半 導(dǎo) 體
我們擁有應(yīng)對于高精細(xì)光刻工藝的各種顯影液、剝離液的產(chǎn)品。此外還包括在WLP工藝中使用的厚膜負(fù)性光刻膠以及干膜光刻膠用剝離液、干式蝕刻后殘渣去除液等。還可以提供符合各種法律規(guī)定的產(chǎn)品以及不含NMP等環(huán)境友好型的藥液。
用于圖像傳感器的彩色濾光片、以及用于鋁布線防腐蝕功能的TMAH型產(chǎn)品系列。
混合了有機堿和活性劑的負(fù)膠/正膠型顯影液。用于半導(dǎo)體和分立器件的制造工藝。選用可以優(yōu)化光刻膠分散性的活化劑,不會在圖形上留下光刻膠殘留物,并且可以去除因光刻膠引起的細(xì)小氣泡,可直接進(jìn)入下一道工序。
(1)常規(guī)級光刻膠用剝離液
NK poleve 517
NK poleve PRS100
用于去除常規(guī)的液態(tài)光刻膠。
(2)高性能光刻膠剝離液
NK poleve 496
NK poleve 480
可去除DRIE等工藝對應(yīng)改性變質(zhì)的光刻膠,厚膜型液態(tài)光刻膠也可對應(yīng)。
(3)干膜用剝離液
NK poleve 117
NK poleve SH
專門用于去除干膜的剝離液產(chǎn)品系列。
半導(dǎo)體應(yīng)用工藝事例
在先進(jìn)封裝工藝當(dāng)中,Micro Bump,Cu pillar, RDL以及TSV的生成,都是日本化藥的剝離液發(fā)揮性其優(yōu)異性能的領(lǐng)域。
準(zhǔn)水型清洗溶劑。通過使用原液,實現(xiàn)高去污力的準(zhǔn)水型產(chǎn)品系列。 通過對水溶性溶劑和特殊表面活性劑的混合,去除細(xì)微部位里殘留的助焊劑。
一種混合多種溶劑的碳?xì)淝逑匆?,對于通常的油份、助焊劑具有極強的去除性能。具有強大的滲透力和溶解力,可以去除附著在細(xì)微部位上的污垢(油份和助焊劑)。